Εξαρτήματα κενού υψηλής θερμοκρασίας
Η θερμική επεξεργασία περιλαμβάνει κυρίως διαδικασίες οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης.Η οξείδωση είναι μια πρόσθετη διαδικασία κατά την οποία γκοφρέτες πυριτίου τοποθετούνται σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας και προστίθεται οξυγόνο για να αντιδράσει μαζί τους για να σχηματιστεί πυρίτιο στην επιφάνεια της γκοφρέτας.Η διάχυση είναι η μετακίνηση ουσιών από την περιοχή υψηλής συγκέντρωσης στην περιοχή χαμηλής συγκέντρωσης μέσω της μοριακής θερμικής κίνησης και η διαδικασία διάχυσης μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να εμποτίσει συγκεκριμένες ουσίες ντόπινγκ στο υπόστρωμα πυριτίου, αλλάζοντας έτσι την αγωγιμότητα των ημιαγωγών.
